太阳能 PECVD 中破空是什么意思
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/06 11:02:38
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破空应为破真空的简称,就是将真空环境变为非真空环境,通常需要通入氮气
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破空应为破真空的简称,就是将真空环境变为非真空环境,通常需要通入氮气